日前，北方华创发布了200mm新型高性能多功能磁控溅射系统Polaris G620，该设备基于该公司成熟的Cluster Tool平台构架，搭载全自动化装卸载系统，能更好地满足先进封装、微机电系统等多领域制程的发展需求。Polaris G620磁控溅射系统的推出，为全球200mm客户提供了更优质的选择，机台发布首月就成功实现销售。

近年来，物联网、汽车电子、移动设备、可穿戴设备等行业的迅速发展，为 200mm设备市场注入了新的成长动力，设备需求反转上升。Polaris G620的成功研制，顺应了200mm制程技术的发展，具备优异的机台性能，可满足不同溅射工艺制备的需求，高温PVD工艺可满足最高400℃基片温度的溅射工艺需求，运用特殊的传输系统和工艺组件设计，可进行最低100μm厚度Wafer和Taiko wafer的传输和工艺。

此项完全自主研发并拥有自主知识产权的Ploaris G620高性能多功能磁控溅射系统，可为200mm半导体各领域提供高性价比的设备及工艺解决方案。